高真空鍍膜儀 Leica EM ACE600

Leica EM ACE600 是一款高真空鍍膜儀，真空泵采用隔膜泵和渦輪分子泵，無油真空系統，真空度可達2*10-6mbar。鍍膜細膩均勻。內置石英膜厚檢測器，可精確控制鍍膜厚度。全自動電腦控制，自動完成抽真空，鍍膜，放氣等全過程，一鍵操作。采用當下Z流行的觸摸屏控制，簡單方便。

儀器可選離子濺射鍍金屬膜，滿足高分辨場發射掃描電鏡（FESEM）需求?？蛇x碳絲蒸發鍍碳膜，用于X-射線能譜及波譜分析，或者TEM銅網鍍碳膜。還可以選擇電子束蒸發方式鍍膜，獲得極其細膩的金屬膜與碳膜，可用于DNA投影等特殊用途。

主要技術參數：

· 可任選離子濺射模式，碳絲蒸發鍍碳模式，碳棒（熱阻）蒸發模式，電子束蒸發模式，雙濺射模式，濺射-碳絲模式，濺射-碳棒模式，濺射-電子束模式，雙電子束模式，可兼容EM VCT100冷凍傳輸系統，可選輝光放電（用于網格表面親水化）

· 設計脈沖式碳絲蒸發方式，可精確控制碳膜厚度

· 內置石英膜厚檢測器，精確控制鍍膜厚度，精度達0.1nm

· 全自動程序控制，自動完成抽真空，鍍膜，放氣等過程

· 觸摸屏控制，簡單方便

· 采用隔膜泵+渦輪分子泵，無油真空系統，真空度2×10-6mbar

· 濺射電流：0-150mA可調

· 方形樣品倉設計，樣品倉尺寸：200mm（寬）×150mm（深）×195mm（高）

· 樣品臺內置旋轉，工作距離調節范圍：30mm-100mm